Tehnologia MEMS este similară cu tehnologia semiconductoare, dar este aplicată pentru senzori și componente mecanice miniaturale în loc de cipuri electronice. Aplicațiile bine cunoscute ale tehnologiei MEMS sunt senzorii airbag, capete cu jet de cerneală, senzori de presiune, microfoane, busole, accelerometre, giroscoape și oscilatoare cu bază de timp. De exemplu, un smartphone conține o mulțime de componente MEMS, iar senzorii de flux termic sunt utilizați pe scară largă în sistemele de aer condiționat.
Cipurile MEMS sunt fabricate din napolitane. Napolitanele sunt discuri circulare extrem de plate, realizate din silicon sau sticla. O napolitană tipică are o grosime de 0,5 mm și un diametru de 6 inci. Tehnologia MEMS se referă la adăugarea de straturi și eliminarea acelor straturi în anumite zone. Straturile care se aplică pot fi din materiale de foarte înaltă calitate și robuste. Nitrura de siliciu este un exemplu de astfel de material, care este aplicat prin depunere de vapori chimici la presiune joasă (LPCVD) și se realizează în jurul valorii de 800˚C.
Fotolitografia este utilizată pentru a defini zonele care trebuie îndepărtate. În fotolitografie, pe suprafața plachetei se depune un strat de fotorezist. Fotorezistul este alterat chimic prin strălucirea luminii pe suprafața sa și este îndepărtat selectiv într-o soluție de dezvoltare.
În imagine, este explicat principiul de funcționare al senzorului Coriolis bazat pe MEMS. Senzorul care este încorporat în modelul demonstrativ se bazează pe această tehnologie. Modelul demonstrativ poate măsura și controla debitele de gaz și lichid de la 0,01 până la 2 grame pe oră. Ca un avantaj suplimentar al tehnologiei MEMS, tubul Coriolis din interiorul instrumentului are dimensiuni atât de mici încât frecvența de rezonanță a tubului este în intervalul kHz. Acest lucru are ca rezultat o susceptibilitate mai mică la vibrațiile externe decât instrumentele Coriolis convenționale din oțel inoxidabil.
Tehnologia canalului de suprafață
„Tehnologia canalului de suprafață” care este utilizată pentru a crea cip-ul senzorului micro-Coriolis permite și alte tipuri de senzori. Exemple sunt: senzori de presiune, senzori de densitate, senzori de vâscozitate și senzori de debit de masă termică.
